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螺杆式真空泵技术设计与应用

时间:2016-05-27 18:51来源:www.linkbuilderload.com 作者:德耐尔空压机
真空泵 系列产品组合中久经考验的干式螺杆真空泵,可以为工艺严苛的太阳能、平板显示器和半导体应用提供世界一流的高负荷和大流量进出片室解决方案。该真空泵采用独特的螺杆设计,并且集一流的抽速、强劲的抽氢性能,以及卓越的粉尘处理能力于一身......

真空泵系列产品组合中久经考验的干式螺杆真空泵,可以为工艺严苛的太阳能、平板显示器和半导体应用提供世界一流的高负荷和大流量进出片室解决方案。该真空泵采用独特的螺杆设计,并且集一流的抽速、强劲的抽氢性能,以及卓越的粉尘处理能力于一身。
同时配备了高能效电机和世界先进的休眠模式功能,可节省大量能耗。采用最优化的空间设计,并具有节能潜力,因此运行成本很低。

 

 

 

技术设计
螺杆真空泵采用反向旋转的两个转子,通过螺杆与腔体间形成的腔室将抽取的工艺介质逐级输送至排气口。此螺杆结构从更大程度上减少介质在真空泵中的滞留时间,使其具有更佳的粉尘处理和重启能力。


与标准螺杆设计相比,改进后的螺杆设计能耗更低,压缩后的气体温度更低。使用间接的制冷方法,可使整个泵体的温度保持恒定,从而消除冷点,并为冷却水夹套提供稳定的温度。先进的高压缩螺杆设计实现了同类产品中更佳的抽氢性能。

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作者:德耐尔@德耐尔空压机  空压机修订日期:2016-05-27
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